现行 JJF (电子) 0033-2019
微电子器件测试系统自检模块校准规范 微电子器件测试系统自检模块校准规范
发布日期：
实施日期：2019-12-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A55综合 - 计量 - 电磁计量
ICS分类： 17.220计量学和测量、物理现象 - 电学、磁学、电和磁的测量
标准简介

本规范适用于直流电压±（1mV～100V），直流电阻1mΩ～100MΩ，频率1kHz～100MHz的微电子器件测试系统自检模块（以下简称：自检模块）的校准，也适用于具有上述单一功能或组合功能的自检模块的校准。微电子器件测试系统自检模块主要由各种阻值的标准电阻和其他电子元器件组成，用来模拟静态标准样片，其主要用于微电子器件测试系统日常自行准确性和工作正常性检测，判断测试系统是否在规定的最大允许误差范围内；功能是否正常；是否符合指标要求

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最后更新时间 2025-09-02