起草单位: 中国电子科技集团公司第十四研究所
起草人: 李浩、 胡永芳、 王从香、 张眯、 谢迪、 崔凯、 邓晓燕、 纪乐、 周建华
本标准规定了高密度功能基板混合多层集成工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求,以及典型工艺流程、工序技术要求、检验要求等内容。本标准适用于高密度功能基板混合多层集成工艺
最后更新时间 2025-09-02