现行 JJF (电子) 0052-2020
半导体工艺用定时器校准规范 半导体工艺用定时器校准规范
发布日期：
实施日期：2020-12-31
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A55综合 - 计量 - 电磁计量
ICS分类： 17.220计量学和测量、物理现象 - 电学、磁学、电和磁的测量
标准简介

本规范适用于机械型和电子型半导体工艺用定时器的校准。半导体工艺用定时器是一种用于半导体生产过程中控制时间的机械或者电子装置，主要应用于半导体生产工艺过程中的电镀、超声清洗等控制领域。它分为机械型定时器和电子型定时器

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最后更新时间 2025-09-02