归口单位： 全国教育装备标准化技术委员会化学分技术委员会
起草单位： 北京科技大学、 国家纳米科学中心、 哈尔滨工业大学、 南京大学、 西安交通大学、 天津大学
起草人： 乔祎、 彭开武、 魏大庆、 王前进、 付琴琴、 徐宗伟
本标准规定了聚焦离子束系统的分析方法原理、分析环境要求、仪器、分析样品、分析步骤、结果报告和安全注意事项。本标准适用于各类型聚焦离子束系统
最后更新时间 2025-09-02