现行 YS/T 1392-2020
氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 17.060计量学和测量、物理现象 - 体积、质量、密度和粘度的测量
标准简介

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %

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最后更新时间 2025-09-02