现行 XB/T 515-2020
钪铝合金靶材 钪铝合金靶材
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-稀土
CCS分类： H65冶金 - 有色金属及其合金产品 - 稀土金属及其合金
ICS分类： 77.120.99有色金属 - 其他有色金属及其合金
标准简介

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域

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最后更新时间 2025-09-02