现行 SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范 半导体制造设备人机界面规范
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 13.180环保、保健和安全 - 人类工效学
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 北京北方华创微电子装备有限公司、 工业和信息化部电子工业标准化研究院、 北方华创科技集团股份有限公司

起草人： 付金生、 冯亚彬、 程朝阳

标准简介

适用于半导体制造设备

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半导体人机界面制造设备

最后更新时间 2025-09-02