本标准规定了扫描电子显微镜(scanning electron microscope,以下简称扫描电镜或SEM)的分析方法原理、环境条件指标﹑仪器、样品、分析测试,结果报告﹑仪器维护和安全注意事项。本标准适用于利用各类扫描电镜进行的微观形貌﹑微区成分和结构分析等
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