本标准规定了磷化铟晶锭切割定向工艺的人员、环境、安全健康与环保、材料、设备和仪器等一般要求，以及工艺流程、工艺准备、切割定向、清洗、吹干、检验、标识、转运和贮存、记录等详细要求。本标准适用于磷化铟晶锭切割定向工艺
最后更新时间 2025-09-02