现行 SJ 21591-2021
半绝缘磷化铟单晶片电阻率、迁移率及其均匀性测试方法 半绝缘磷化铟单晶片电阻率、迁移率及其均匀性测试方法
发布日期：
实施日期：2022-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了半绝缘磷化铟单晶片电阻率、迁移率及其均匀性的测试原理、测试条件、仪器设备、样品制备、测试步骤、数据处理、测试报告。本标准适用于室温电阻率为1×10^6Ωcm~1×10^8Ωcm的半绝缘磷化铟单晶片电阻率、迁移率及其均匀性的测试

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磷化迁移绝缘测试方法

最后更新时间 2025-09-02