现行 SJ 21624-2021
150mm超薄锗衬底材料规范 150mm超薄锗衬底材料规范
发布日期：
实施日期：2022-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本规范规定了150mm超薄锗衬底材料（以下简称锗衬底）的要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于直拉法（CZ）和垂直梯度凝固法(VGF）制作的150mm超薄锗衬底材料，其他规格尺寸和其他生产方式制作的锗衬底材料可参照使用

相似标准/计划/法规
衬底材料mm

最后更新时间 2025-09-02