现行 SJ 21626-2021
氮化镓材料元素化学计算比的俄歇能谱测试方法 氮化镓材料元素化学计算比的俄歇能谱测试方法
发布日期：
实施日期：2022-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了氮化镓(GaN)材料元素化学计量比的俄歇电子能谱测试方法。本标准适用于军用氮化镓(GaN)材料表面元素化学计量比的俄歇电子能谱测试

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最后更新时间 2025-09-02