现行 SJ 21630-2021
碳化硅(SiC)离子注入设备工艺验证方法 碳化硅(SiC)离子注入设备工艺验证方法
发布日期：
实施日期：2022-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.240电子学 - 电子设备用机械构件
标准简介

本标准规定了碳化硅(SiC)离子注入设备（以下简称设备）工艺性能参数验证的一般要求、试验条件和验证方法等内容。本标准适用于碳化硅(SiC)离子注入设备铝离子注入工艺性能参数的验证

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最后更新时间 2025-09-02