现行 SJ 21645-2021
光电级高纯磷化氢 光电级高纯磷化氢
发布日期：
实施日期：2022-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了光电级高纯磷化氢(以下简称磷化氢)的要求、质量保证规定、交货准备及说明事项。本标准适用于磷化氢的生产和使用

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最后更新时间 2025-09-02