现行 JJF 1917-2021
显微标尺校准规范 显微标尺校准规范 Calibration Specification for Micropattern Standards
发布日期：2021-07-28
实施日期：2022-01-28
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A52综合 - 计量 - 长度计量
ICS分类： 17.040计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量
研制信息

归口单位： 全国几何量长度计量技术委员会

起草单位： 山西省计量科学研究院、 江苏省计量科学研究院、 中国计量科学研究院

起草人： 晏浩、 王晓飞、 孙双花、 薛梓、 杨伟敏

标准简介

本规范适用于刻线宽度为0.3 um及以上一维或二维显微标尺的校准

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最后更新时间 2025-09-02