现行 JJF 1932-2021
椭偏仪校准规范 椭偏仪校准规范 Calibration Specification for Ellipsometers
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A60综合 - 计量 - 光学计量
ICS分类： 17.180计量学和测量、物理现象 - 光学和光学测量
研制信息

归口单位： 全国光学计量技术委员会

起草单位： 中国计量科学研究院、 中国兵器工业第二〇五研究所

起草人： 刘文德、 陈赤、 王雷

标准简介

本规范适用于波长范围在250 nm～2 000 nm 内的椭偏仪的校准

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最后更新时间 2025-09-02