现行 JJF (电子) 0072-2021
非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
发布日期：
实施日期：2022-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类：
ICS分类：
标准简介

本规范适用于测试范围在 0.1Ω·cm~200.0Ω·cm（厚度 100 μm~1000μm）的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统（以下简称电阻率测试系统）的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统，检测由被测半导体晶片感应的涡流，辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成

相似标准/计划/法规
JJF (电子) 0096-2023
非接触涡流法半导体品片电阻率测试系统校准规范
GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
2023-08-06
DIN 50445
Contactless determination of the resistivity of homogeneously-doped semiconductor slices with the eddy current induction method
半导体技术材料测试；用涡流法非接触测定半导体薄片的电阻率；均匀掺杂半导体晶片
1992-04-01
半导体涡流校准晶片非接触

最后更新时间 2025-09-02