现行 YS/T 1434-2021
六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分数）为不小于0.001%

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最后更新时间 2025-09-02