现行 YS/T 1508-2021
钯蒸发料 钯蒸发料
发布日期:2021-12-02
实施日期:2022-04-01
分类信息
研制信息

归口单位: 工业和信息化部

标准简介

本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料

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最后更新时间 2025-09-02