归口单位: 全国新材料与纳米计量技术委员会
起草单位: 中国计量科学研究院
起草人: 殷聪、 石春英
本规范适用于平均间距为(140~2 000) nm、能观测到衍射现象的一-维或二维反射光栅的校准
最后更新时间 2025-09-02