归口单位： 中国电子技术标准化研究院
起草单位： 中国电子技术标准化研究院、 北京北方华创微电子装备有限公司、 北京赛西认证有限责任公司、 深圳赛西信息技术有限公司、 青海大学、 中国科学院电工研究所
起草人： 张生春、 赵立华、 程朝阳、 吴秀祥、 李梦辰、 麻林瑞、 李兴、 冀晓洲、 李春琦、 杨立娜
适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件
最后更新时间 2025-09-02