现行 SJ/T 11829.2-2022
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.550电子学 - 电子产品生产设备
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀 积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验 方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶 体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微 晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx） 薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光 伏电池用 PECVD 设备也可参照使用

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最后更新时间 2025-09-02