现行 SJ/T 11853-2022
正压悬浮区熔单晶硅炉 正压悬浮区熔单晶硅炉
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类： 31.220电子学 - 电子电信设备用机电元件
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件规定了正压悬浮区熔单晶硅炉的产品标记和主要参数、 技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。适用 于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长 的单晶硅炉

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最后更新时间 2025-09-02