现行 SJ/T 11183-2022
旋转式涂覆设备通用规范 旋转式涂覆设备通用规范
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.550电子学 - 电子产品生产设备
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、 检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆 设备

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最后更新时间 2025-09-02