现行 SJ/T 11829.1-2022
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.550电子学 - 电子产品生产设备
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀 积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验 方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用 于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化

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最后更新时间 2025-09-02