现行 HG/T 5895-2022
工业用混合气体 硅烷/氮气 工业用混合气体 硅烷/氮气
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-化工
CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体
ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体
研制信息

归口单位： 全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会

起草单位： 广东华特气体股份有限公司、 昊华气体有限公司西南分公司、 中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人： 傅铸红、 孙福楠、 张金波

标准简介

本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法， 确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存 及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料 制备的混合气体

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最后更新时间 2025-09-02