本校准规范适用于1GHz~110GHz输入输出型式为GSG型共面波导在片微波测试系统散射参数的校准,典型探针间距为150um、100um、50um。其它型式(如GS、GSGSG等)不同间距的片上微波测试系统散射参数校准可参照此规范执行。在片微波测试系统主要用于裸芯片在片S参数测试,主要包括网络分析仪、探针和微波电缆等
最后更新时间 2025-09-02