本规范适用于具有三维几何尺寸测量功能的线阵扫描方式和锥束扫描方式的X射线三维尺寸测量机的校准。本技术规范中主要内容包括:适用范围、引用文件、术语和计量单位、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、复校时间间隔等
最后更新时间 2025-09-02