现行 HG/T 4509-2023
工业高纯氢氟酸 工业高纯氢氟酸
发布日期：2023-12-20
实施日期：2024-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-化工
CCS分类： G11化工 - 无机化工原料 - 无机酸、碱
ICS分类： 71.060.30无机化学 - 酸
研制信息

归口单位： 全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会

起草单位： 中巨芯科技股份有限公司、 多氟多新材料股份有限公司、 索尔维蓝天（衢州）化学品有限公司

起草人： 陈刚、 杨华春、 王平

标准简介

本文件规定了工业高纯氢氟酸的的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。本文件适用于工业高纯氢氟酸。注：该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等

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最后更新时间 2025-09-02