现行 SJ/T 11450-2023
单晶炉能源消耗规范 单晶炉能源消耗规范
发布日期：2023-12-29
实施日期：2024-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类：
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件规定了单晶炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。本文件适用于装料量为420kg～1500kg的单晶炉

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最后更新时间 2025-09-02