现行 YS/T 1601-2023
六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布日期：2023-04-21
实施日期：2023-11-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01 ng/g～50 ng/g

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最后更新时间 2025-09-02