现行 YS/T 983-2024
硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法
发布日期：2024-10-24
实施日期：2025-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 工业和信息化部

标准简介

本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分的测定

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最后更新时间 2025-09-02