作废 SJ 2798-1987
电子级气体中颗粒的测定方法 光散射性法 电子级气体中颗粒的测定方法 光散射性法 Method for determination of particles in electronic grade gases--Light scattering method
发布日期：1987-04-06
实施日期：1988-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L90电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子技术专用材料
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
GB/T 26570.1-2011
气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定
Determination of particle in gases - Light-scattering method - Part 1：Determination of particle in pipeline gases
2011-06-16
电子散射颗粒气体测定方法

最后更新时间 2025-08-28