作废 SJ 2802-1987
电子级气体中痕量二氧化碳的测定方法 氢焰转化色谱法 电子级气体中痕量二氧化碳的测定方法 氢焰转化色谱法 Method for determination of trace Carbon dioxide in electronic grade gases--Hydrogen flame ionzation detertor method
发布日期：1987-04-06
实施日期：1988-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L90电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子技术专用材料
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
电子痕量气体转化测定方法

最后更新时间 2025-08-28