未生效 YS/T 1740-2025
电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
发布日期：2025-04-10
实施日期：2025-11-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
标准简介

适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价

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化学电子沉积气相评价

最后更新时间 2025-09-02