现行 SJ 3118-1988
晶片承载器 晶片承载器 Wafer holder
发布日期：1988-04-08
实施日期：1988-12-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L90电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子技术专用材料
ICS分类：
标准简介

本标准规定了晶片包装盒、传递片架和清洗片架的晶片承载器的品种、规格、尺寸和技术要求。 本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产过程中晶片的包装、传递和清洗用的晶片承载器

相似标准/计划/法规
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最后更新时间 2025-08-28