现行 SJ/Z 2927-1988
集成电路制版设备名词术语 集成电路制版设备名词术语 Terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing
发布日期：1988-03-10
实施日期：1988-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
集成电路制版术语名词设备

最后更新时间 2025-08-28