现行 SJ/Z 2926-1988
集成电路制版设备性能测试方法 集成电路制版设备性能测试方法 Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs
发布日期：1988-03-10
实施日期：1988-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L99电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 其他生产设备
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
集成电路制版性能测试方法设备

最后更新时间 2025-08-28