现行 SJ 3248-1989
重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法 Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
ICS分类：
研制信息

起草单位： 机械电子工业部第四十六研究所

起草人： 李光平、 何秀坤、 玉琴、 郑驹、 阎萍

标准简介

本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度

相似标准/计划/法规
GB/T 11068-2006
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method
2006-07-18
磷化浓度反射测试方法

最后更新时间 2025-08-28