现行 SJ 3244.5-1989
砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法 Methods of measurement for compensation degree of Gallium arsenide and Indium phosphide materias
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
ICS分类：
研制信息

起草单位： 机械电子工业部第四十六研究所

起草人： 张又立、 孙毅之、 谢重木

标准简介

本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层，载流子浓度在1×lO^(12)～5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ－V族化合物材料补偿度的测试分析

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最后更新时间 2025-08-28