作废 SJ/T 10152-1991
集成电路主要工艺设备术语 集成电路主要工艺设备术语 Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
发布日期：1991-04-02
实施日期：1991-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L56电子元器件与信息技术 - 微电路 - 半导体集成电路
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
标准简介

本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流

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集成电路术语工艺设备

最后更新时间 2025-08-29