作废 JB/T 5629-1991
半导体器件烧结炉 能耗分等 半导体器件烧结炉 能耗分等
发布日期：1991-09-13
实施日期：1992-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J01机械 - 机械综合 - 技术管理
ICS分类： 31.020电子学 - 电子元器件综合
研制信息

起草单位： 无锡微电子联合公司

起草人： 王兴昶、 肖凤英

标准简介

本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉（以下简称烧结炉），单台或炉群

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分等能耗半导体器件烧结炉

最后更新时间 2025-08-29