作废 JB/T 5630-1991
半导体器件扩散炉 能耗分等 半导体器件扩散炉 能耗分等 Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption
发布日期：1991-09-13
实施日期：1992-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J01机械 - 机械综合 - 技术管理
ICS分类： 31.080.01半导体分立器件 - 半导体器分立件综合
研制信息

起草单位： 国营七〇〇厂

起草人： 钱祖权、 黄淑敏

标准简介

本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉

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分等扩散能耗半导体器件

最后更新时间 2025-08-29