作废 JB/T 4081-1991
溅射离子泵 型式与基本参数 溅射离子泵 型式与基本参数
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J71机械 - 通用机械与设备 - 泵
ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术
标准简介

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。　　本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵

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最后更新时间 2025-08-29