被代替 YS/T 28-1992
硅片包装 硅片包装
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H81冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

起草单位： 上海第二冶炼厂

起草人： 孙瑾

标准简介

本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装

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最后更新时间 2025-08-29