被代替 YS/T 26-1992
硅片边缘轮廓检验方法 硅片边缘轮廓检验方法
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

起草单位： 洛阳单晶硅厂

起草人： 王从赞、 夏光勤

标准简介

本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓

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最后更新时间 2025-08-29