作废 YS/T 27-1992
晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法 晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介
相似标准/计划/法规
沾污微粒晶片表面上计数

最后更新时间 2025-08-29