作废 SJ/T 31120-1994
KSM--MJB3型掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法 KSM--MJB3型掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
发布日期：
实施日期：
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
SJ/T 31119-1994
掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for mask alignment and exposure systems
对准评定曝光检查方法

最后更新时间 2025-08-29