起草单位: 电子工业部平凉半导体专用设备研究所
起草人: 黄燕、 赵志扬、 廖温初
本标准规定了外圆切割机的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等。 本标准适用于外圆切割机,其他类型的切割机可参照使用
最后更新时间 2025-08-29