现行 SJ/T 10478-1994
磁控溅射设备通用技术条件 磁控溅射设备通用技术条件 General specification for magnetic sputtering equipment
发布日期:1994-04-11
实施日期:1994-10-01
分类信息
研制信息

起草单位: 国营南光机器厂标准化研究所

起草人: 贺学红、 陆裕芳、 武又文、 靳毅、 金和东、 赵雨生

标准简介

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备

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最后更新时间 2025-08-29